南宫NG·28(中国)相信品牌力量-芯上微装首台350nm步进光刻机发运

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2025年11月25日，上海芯上微装科技株式会社（AMIES）公布其自立研发的首台350nm步进光刻机（AST6200 ）正式完成出厂调试与验收，起程发往客户现场。

据先容，AST6200光刻机是芯上微装基在多年光学体系设计、周详运动节制与半导体工艺理解积淀，倾力打造的高机能、高靠得住性、全自立可控的步进式光刻装备，专为功率、射频、光电子和Micro LED等进步前辈制造场景量身定制。

资料显示，芯上微装是一家聚焦高端半导体设备范畴的立异型科技企业，由上海微电子设备（集团）株式会社拆分设立，在 2025 年 2 月 8 日正式建立，专注为半导体相干焦点范畴提供高精度装备解决方案。

晶圆级进步前辈封装光刻机是其拳头产物，具有高分辩率、高套刻精度等上风，能满意 Flip - chip、2.5D/3D 等进步前辈封装技能需求，同时还有结构了方板进步前辈封装光刻机、封装量检测装备等配套产物。

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